氦质谱检漏方法与气泡识别法、压强衰减法和卤素检漏等方法相比，除检漏原理不同外，以检测灵敏度高、速度快和适用范围宽，尤其是选择无毒、无破坏性、质量轻的惰性气体氦作为探索气体，而成为当今诸多检漏方法中的佼佼者。

设备由真空系统、质谱室、电子学线路和机架四部分组成。其中，真空系统包括涡轮分子泵、机械泵和组合阀体。

主要性能参数
1.最小可检漏率（对氦） <5×10-11 Pa•m3/S
2.吸入法最小可检漏率 ～ 5×10-8 Pa•m3/S
3.反应时间 <3S
4.启动时间 <8 min
5.允许检漏口最高压力 20Pa
6.允许质谱室最高工作压力 3×10-2 Pa